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實驗室及研發(fā)中心

R&D Center

X射線衍射（XRD）
原子力顯微鏡（AFM）
可靠性預(yù)測與評估實驗室
半導(dǎo)體材料研發(fā)實驗室
掃描電子顯微鏡（SEM）
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司
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鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司（簡稱：鵬城微納），公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備先進的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

公司核心業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體襯底材料的研發(fā)與制造，半導(dǎo)體外延片的研發(fā)與制造，半導(dǎo)體工藝裝備的研發(fā)與制造。包括了半導(dǎo)體裝備（工業(yè)母機）研發(fā)、生產(chǎn)制造和銷售；主要是PVD、CVD和MBE系列設(shè)備；熱絲CVD金剛石工藝研發(fā)、金剛石工藝裝備的設(shè)計制造和銷售；重點是研發(fā)微米晶、納米晶金剛石晶圓片和工業(yè)母機的研發(fā)制造；以產(chǎn)學(xué)研的模式，圍繞第二代、第三代、第四代半導(dǎo)體，開展半導(dǎo)體材料制備和工業(yè)母機的研發(fā)和中試，研發(fā)設(shè)計自主可控的成套工藝裝備和關(guān)鍵零部件，研發(fā)設(shè)計自主可控的半導(dǎo)體襯底材料和外延片。

公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整，有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計師團隊，他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

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鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產(chǎn)設(shè)備項目喜獲遼寧省創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎 鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產(chǎn)設(shè)備項目喜獲遼寧省創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎
近日，第十二屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽（遼寧賽區(qū)）暨2023年遼寧創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽行業(yè)賽啟幕。中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽是全國范圍內(nèi)歷史最久、規(guī)格最高、影響力最廣的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)賽事。遼寧賽區(qū)比賽已成為省內(nèi)科技企業(yè)融資對接、技術(shù)合作、成果轉(zhuǎn)化的重要載體和平臺。本屆大賽累計吸引582家企業(yè)報名參賽，經(jīng)過前期城市賽的激烈角逐，遴選出234家企業(yè)晉級全省行業(yè)賽。今年，省行業(yè)賽將按照新一代信息技術(shù)、高端裝備制造、生物醫(yī)藥、新能源和新能源汽車、新材料、節(jié)能環(huán)保6大行業(yè)領(lǐng)域，分別在沈陽高新區(qū)、鞍山高新區(qū)、本溪高新區(qū)、錦州高新區(qū)、營口高新區(qū)以及盤錦高新區(qū)舉行，最終選拔出75家行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀企業(yè)。
遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司調(diào)研 遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司調(diào)研
近日，遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行5人來我司鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司開展實地調(diào)研，全面了解微納項目開展情況，就鵬城微納今后的發(fā)展路線、部委省市相關(guān)政策申報進行指導(dǎo)。隨后由鵬城微納吳向方先生帶領(lǐng)團隊陪同區(qū)委常委、副區(qū)長關(guān)浩，區(qū)科技局主要領(lǐng)導(dǎo)參觀鵬城微納生產(chǎn)制造中心，也為各領(lǐng)導(dǎo)進行了整體的公司介紹。
鵬城半導(dǎo)體&鵬城微納亮相第十一屆（2023年）中國半導(dǎo)體設(shè)備年會 鵬城半導(dǎo)體&鵬城微納亮相第十一屆（2023年）中國半導(dǎo)體設(shè)備年會
2023年8月9日至11日第十一屆(2023)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇、第十一屆半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會(CSEAC)將在江蘇無錫太湖國際博覽中心隆重舉行。本屆大會以“協(xié)力同芯搶機遇、集成創(chuàng)新造設(shè)備”為主題、圍繞半導(dǎo)體行業(yè)最為關(guān)切的焦點和熱點問題，展示支撐我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“設(shè)備”與“核心部件”取得的成就，研討客觀存在的重重困難和問題，探求當(dāng)前和今后一段時期“破解”、“突圍”的路徑和方案。
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